1、樣品制備

 

　　樣品制備是二次離子質(zhì)譜儀分析的前提。通常需要對樣品進行表面清洗、制備表面平整、裝載樣品等處理。因為樣品的表面化學成分和結構會影響次級離子的質(zhì)量和分布，所以樣品制備需要充分考慮分析的需要。

 

　　2、樣品加載

 

　　樣品加載是將樣品放置到樣品表面并且固定好，以備加速粒子的轟擊。樣品通常通過真空吸引于樣品臺上，并通過機械臂進行移動和調(diào)整位置，以獲得最佳轟擊位置。

 

　　3、儀器調(diào)整

 

　　儀器調(diào)整是保證二次離子質(zhì)譜儀正常運行的關鍵步驟。它包括對加速器調(diào)整、碰撞單元調(diào)整、磁場調(diào)整、檢測器調(diào)整等多個方面的操作。主要目的是保證二次離子的產(chǎn)生和檢測正常進行，并且使得分辨率和靈敏度達到優(yōu)。

 

　　4、數(shù)據(jù)處理

 

　　數(shù)據(jù)處理是將質(zhì)譜圖中得到的次級離子質(zhì)量峰與樣品的化學成分和結構相對應，得到表面化學成分、結構和分布等信息的步驟。數(shù)據(jù)處理通常利用專門的軟件進行，在計算和分析中實現(xiàn)。